業務範圍
業 務 範 圍
◉ 機台各式耗材
◉ 零件設計開發製作
◉ 真空PAD設計及製作
◉ 超高純氣體管路工程規劃、設計、施工
◉ HV/LV真空管路配管工程
◉ 純水管路工程規劃、施工
◉ 冷卻水系統工程規劃、施工
◉ 超潔淨管路
◉ 一般氣體管路
◉ 特殊氣體管路
◉ 高低真空管路
◉ 電路配置製作
◉ 規劃配管工程
◉ 半導體設備真空
◉ 廠務高低真空規劃設計
◉ 線槽裝配
◉ 泵浦設備
◉ 包覆式加熱器
◉ 熱處理器
◉ 工程系統管理
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